半导体用超纯水设备电去离子（Electrodeionization 简称EDI）是将电渗析膜分离技术与离子交换技术有机地结合起来的一种新的制备超纯水（高纯水）的技术，它利用电渗析过程中的极化现象对填充在淡水室中的离子交换树脂进行电化学再生。浓水室中自己水的流动将带走水中的阴阳离子。膜阻止带相反电荷的离子的进入淡水室在水流通过淡水室的过程中，离子被树脂去处，所以膜的有效侧（淡水室）就会产生纯水。